随着社会的发展和人类科技的进步,人工晶体材料在半导体、集成电路、太阳能光伏、LED、航空发动机涡轮叶片制造等领域中得到了广泛的应用。这些社会应用需求驱动了晶体生长科学与技术的迅速发展,人们借助先进的技术手段可制备各种优质的多功能晶体。此外,随着计算机软硬件技术的发展,利用高效的CAE数值模拟技术进行虚拟预测、优化晶体生长工艺,已成为提高产品质量与研发效率、降低研发成本的有效途径。 FEMAG软件是全球首款商业的晶体生长数值模拟软件,由比利时新鲁汶大学教授Dr. François Dupret于20世纪80年代中期领导开发。Dr. Dupret是第二届晶体生长模型国际研讨会主席、EUROTHERM相变热力学研讨会联合主席、机械工程学位委员会主席,曾担任国际晶体生长(Journal of Crystal Growth)期刊主编。作为FEMAG公司创始人和首席科学家,Dr. Dupret主持开发的FEMAG软件拥有国际上最先进、最高效、最全面的晶体生长工艺模拟技术和多物理场耦合仿真分析功能,可模拟的晶体生长工艺包括提拉法(Cz法)、泡生法(Ky法)、区熔法(FZ法)、垂直布里奇曼法(VB法)、垂直梯度凝固法(VGF法)、定向凝固法(DS法)、热交换法(HEM)以及物理气相传输法(PVT法)等,广泛应用于集成电路、太阳能光伏、半导体、蓝宝石、单晶高温合金等领域。ON Semiconductor(安森美半导体)、美国Kayex、Siltronic(世创电子材料)、AXT(美国晶体技术集团)、韩国Nexolon、LG、韩国汉阳大学、Norut(挪威北方研究所)、日本SUMCO集团、Gritek(有研新材料)、天津环欧半导体材料、中环股份、北京有色金属研究总院、清华大学等企业和科研机构,均是FEMAG软件的客户。 目前,FEMAG软件包括下列产品: FEMAG/CZ——FEMAG提拉法晶体生长模拟软件 FEMAG/CZ/OX——FEMAG化合物提拉/泡生法晶体生长模拟软件 FEMAG/FZ——FEMAG区熔法晶体生长模拟软件 FEMAG/DS——FEMAG定向凝固模拟软件 FEMAG/VB——FEMAG VB/VGF法晶体生长模拟软件 FEMAG/HEM——FEMAG热交换法晶体生长模拟软件 FEMAG/PVT——FEMAG物理气相传输法晶体生长模拟软件 经过三十多年的开发与完善,FEMAG软件以其深厚的晶体生长理论基础、高效稳健的数值算法,业已在晶体生长数值计算领域处于国际领先地位。FEMAG软件可以高效地模拟晶体生长工艺以及预测晶体生长的质量,有力地促进了晶体生长技术相关的生产与研发工作。FEMAG软件已在以下领域中得到了广泛的应用: 半导体用与集成电路级单晶硅的生长 太阳能光伏用单晶硅、多晶硅锭的生长 航空发动机涡轮叶片用单晶高温合金生长 LED光电技术用氧化物晶体和蓝宝石晶体生长 光学级锗单晶的生长 YAG功能晶体的生长 GaAs、CdTe晶体的生长 第三代半导体材料SiC晶体的生长 晶体生长熔炉的设计 |
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