1、MEMS_Shear_Bender压电驱动剪切梁变形




本案例基于COMSOL Multiphysics V4.0a版本操作,采用静态3D压电固体应用模式对基于悬臂梁的压电致动器进行了静态分析,主要研究MEMS系统中3D压电驱动梁的横向偏移量。该模型的静电边界条件是在压电陶瓷域的上下表面间加20V 的电压降。这使得垂直于轴线方向的电场增加,从而产生了横向剪切应变。
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